通过补偿变压器实时调节电压偏差，实现高精度、高效率的稳压输出，无波形畸变

内置智能控制系统，实时监测输入电压变化，自动调节补偿量，调压速度快且平稳

超压、欠压报警及自动保护，承受瞬时超载能力强，保障半导体设备安全运行

效率高达 ≥99%，损耗极小，长期运行节省大量电费，符合半导体工厂节能要求

稳压精度 380V±1%（1%-5%可调），确保半导体精密设备获得极致稳定的工作电压

输入电压范围 304-456V（380V±20%），适应工业园区电网波动，确保设备稳定运行

反应速率快，稳定 30V 电压变化时间在 2秒内，迅速应对半导体设备运行中的电压突变

波形畸变 ＜1%，无附加波形失真，确保半导体精密传感器和控制系统不受谐波干扰

适配光刻机、刻蚀机、离子注入机、PVD/CVD、晶圆检测设备等各类半导体制造设备

光刻、刻蚀、离子注入、扩散/氧化、CVD/PVD等前道工艺设备

晶圆切割、封装、测试、分选等后道工艺设备

晶圆检测、缺陷检测、膜厚测量、电性测试等精密检测设备

IGBT、MOSFET、SiC、GaN等功率器件制造设备

MEMS器件、传感器制造相关精密加工设备

高校/研究所半导体实验室、研发中心的精密设备供电

功率/容量定制

10KVA ~ 500KVA 任意功率段定制，适配单台半导体设备或多台设备集中供电。

输入电压范围定制

标准 ±15%~±20%，可扩展至 ±30% 或更宽，适配工业园区复杂电网环境。

输出电压定制

常规 380V，其他电压等级可非标定制（如 220V、400V、415V、480V 等），适配各类进口/国产半导体设备。

洁净室适配定制

可根据半导体洁净室特殊要求定制低噪音、低振动、防静电等专属方案。